ÀüºÏ´ëÇб³ ÀüÀÚ°øÇкΠÂ÷¼¼´ë ÀΰøÁö´É ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ ¹× ȸ·Î ¿¬±¸½Ç(Áöµµ±³¼ö ¹èÇп) ¼Ò¼Ó ¹Ú¹Î¾Æ¡¤¹Ú¼Çö ¼®»ç°úÁ¤»ýÀÌ 2025³âµµ ¹ÝµµÃ¼ ±Û·Î¹ú ÷´ÜÆÕ ¿¬°èȰ¿ë»ç¾÷ - ÇØ¿Ü(IMEC) ÀÎÅÏ½Ê ¹× ±â¼úÀη±³·ù ÇÁ·Î±×·¥ ÆÄ°ßÀÚ·Î ÃÖÁ¾ ¼±Á¤µÆ´Ù.
ÀÌ »ç¾÷Àº º§±â¿¡¿¡ À§Ä¡ÇÑ ¹ÝµµÃ¼¡¤³ª³ë±â¼ú ¿¬±¸±â°üÀÎ IMEC¿¡¼ÀÇ °øµ¿ ¿¬±¸¿Í ÀÎÅÏ½Ê È°µ¿À» ÅëÇØ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú¿ª·®°ú ±¹Á¦ Çù·Â ¼Ò¾çÀ» °®Ãá ¹Ì·¡Çü Àü¹® ÀÎÀ縦 ¾ç¼ºÇϱâ À§ÇØ ÃßÁøµÆ´Ù.
7ÀÏ ÀüºÏ´ë¿¡ µû¸£¸é IMECÀº ÀÎÅÚ, »ï¼ºÀüÀÚ, TSMC µî ¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷°ú ±ä¹ÐÇÑ ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ¸Î°í ÀÖÀ¸¸ç, 100¿© °³±¹ 6,000¸í ÀÌ»óÀÇ ¿¬±¸ÁøÀÌ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú °³¹ß¿¡ Âü¿©Çϰí ÀÖ´Â ¼¼°èÀûÀÎ ¿¬±¸¼Ò´Ù.
¹Ú¹Î¾Æ ¼®»ç°úÁ¤»ýÀº ¡®2D °À¯Àüü ¼ÒÀç ¹× ¼ÒÀÚ °³¹ß¡¯À» ÁÖÁ¦·Î ¿À´Â 9¿ùºÎÅÍ 9°³¿ù°£ IMEC º»»ç¿¡¼ ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¶ÇÇÑ ¹Ú¼Çö ¼®»ç°úÁ¤»ýÀº ¡®CMOS ÀÀ¿ëÀ» À§ÇÑ ALD ±â¹ÝÀÇ °À¯Àüü HZO Ä¿ÆÐ½ÃÅÍ °³¹ß¡¯À» ÁÖÁ¦·Î 1³â°£ ÀÎÅϽʿ¡ Âü¿©ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. µÎ Çлý¿¡°Ô´Â ¼®»ç°úÁ¤ ±âÁØÀ¸·Î ¾à 4,300¸¸ ¿øÀÇ ÆÄ°ßºñ°¡ Áö¿øµÈ´Ù.
¹èÇп Áöµµ±³¼ö´Â ¡°µÎ Çлý ¸ðµÎ ·ÎÁ÷ ¹× ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼ ´Ù¼öÀÇ SCI±Þ ³í¹® °ÔÀç ¹× ±¹³»¿Ü ÇÐȸ ±¸µÎ¹ßÇ¥ °æÇèÀ» °®Ãá ÀÎÀçµé·Î, À̹ø ¼±¹ßÀº ÀüºÏ´ë ÀüÀÚ°øÇкΠ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸¿ª·®À» ÀÔÁõÇÑ Äè°Å¡±¶ó¸ç ¡°À̹ø ±âȸ¸¦ ÅëÇØ ±¹Á¦ °øµ¿¿¬±¸ È®´ë´Â ¹°·Ð, ½Ç¹« Áß½ÉÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹® Àη ¾ç¼º¿¡ ´õ¿í Èû¾²°Ú´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí, ¹èÇп ±³¼ö ¿¬±¸½ÇÀº ³ª³ë¼ÒÀç±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ÀÇ ÀÏȯÀÎ ¡®¼ÒÀç ±Û·Î¹ú ¿µÄ¿³ØÆ®¡¯ °úÁ¦¸¦ ¼öÇà ÁßÀÌ´Ù.
/ÀåÀº¼º ±âÀÚ