ÀüºÏ´ëÇб³ ¹ÝµµÃ¼Æ¯¼ºÈ´ëÇлç¾÷´Ü(´ÜÀå ±èÁø¼ö)Àº ¹ÝµµÃ¼ À¶ÇÕÀü°ø ÇлýµéÀÇ ±³À° °æÀï·ÂÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ Âü¿© ÇлýµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î µ¿°è ¹ÝµµÃ¼Ä·ÇÁÀÎ ¡®¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸· °øÁ¤½Ç¹«±³À°¡¯ ÇÁ·Î±×·¥À» ÁøÇàÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
Áö³´Þ 23~29ÀÏ ÁøÇàµÈ À̹ø ±³À°Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ À̷б³À°°ú ½Ç½ÀÀ» ÅëÇØ Âü¿© ÇлýµéÀÇ ½Ç¹«´É·ÂÀ» Çâ»ó½ÃÅ°°í, ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß °í±ÞÀη À°¼ºÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àη ºÎÁ· ¹®Á¦ Çؼҿ¡ ±â¿©Çϱâ À§ÇØ ¸¶·ÃµÆ´Ù.
¹ÝµµÃ¼À¶ÇÕÀü°ø ¼Ò¼Ó Çлý 32¸íÀÌ Âü¿©ÇÑ °¡¿îµ¥ ÀÌ·ïÁø ÇÁ·Î±×·¥¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø °øÁ¤±³À°ÀÇ ÀÌ·Ð ¹× ½Ç½À, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áß ÁõÂø °øÁ¤¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÇ ÀÌÇØ¿Í °øÁ¤ ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇÑ ±³À°, ÁõÂøÀåºñ 3Á¾(DC Sputter, E-beam evaporator, PECVD), ÁõÂø ÈÄ ºÐ¼® ÀåºñÀÎ SEM Àåºñ±³À° µîÀÇ ÀÌ·Ð ¹× ½Ç½À±³À°ÀÌ 20½Ã°£ °úÁ¤À¸·Î ¿î¿µµÆ´Ù.
ƯÈ÷ À̹ø ÇÁ·Î±×·¥Àº ÇлýµéÀÇ ±³À° ¸¸Á·µµ Á¦°í¸¦ ¸ñÇ¥·Î »çÀü ¼ö¿äÁ¶»ç¸¦ ÅëÇØ ÇлýµéÀÌ ¿øÇÏ´Â ¸ÂÃãÇü ±³À°°úÁ¤À» °³¼³ÇØ ³»½Ç ÀÖ´Â ±³À°ÀÌ ÁøÇàµÆ´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù.
±èÁø¼ö ´ÜÀåÀº ¡°ÇлýµéÀÌ ¿øÇÏ´Â ¸ÂÃãÇü ±³À°°úÁ¤ ¿î¿µÀ» ÅëÇØ Âü¿© ÇлýµéÀÇ ¸¸Á·µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô¾Ò´Ù¡±¸ç ¡°À̸¦ ¹Ý¿µÇØ ±³À°À» Á¤±âÀûÀ¸·Î ¿î¿µÇÒ ¿¹Á¤À̸ç, ¾ÕÀ¸·Îµµ ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ß¸¦ À̲ø¾î ³ª°¥ °í±Þ ÀÎÀç ¾ç¼ºÀ» À§ÇÑ ±³À°¿¡ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù.
/ÀåÀº¼º ±âÀÚ